本报讯 （新乡日报全媒体记者 郭书武）3月2日，记者从新乡经开区了解到，该区一家企业荣获科技部全国颠覆性技术创新大赛总决赛优胜奖。

由科技部主办，科技部火炬中心承办的2022年全国颠覆性技术创新大赛总决赛在杭州举行，来自全国各地重点高校、知名科研院所、行业龙头企业等单位的2800多个技术项目报名参赛，最终，157个项目通过陈述答辩形式进入总决赛。位于新乡经开区的河南科之诚第三代半导体碳基芯片有限公司（以下简称科之诚公司）研发生产的“2Ghz-10GHz金刚石基高频射频滤波器”获得本次比赛优胜奖。据悉，优胜项目将推荐进入科技部颠覆性技术备选库。

科之诚公司负责人谢波玮介绍，这项研究成果突破了“大面积、高平整度金刚石薄膜沉积”“氮化铝多元素共掺杂、高平整度C轴择优取向薄膜”等技术难点，在基础材料领域实现了“金刚石+氮化铝的材料体系”和“全新设计了螺旋结构的IDT换能电路”两项创新，推出了高频的金刚石射频滤波器产品。这两项创新将实现两个重要价值：一是打破国外垄断，实现高频滤波器的国产替代；二是用SAW工艺和成本，实现BAW滤波器的产品性能，而成本只有后者的10%～20%，具有巨大的市场价值。

科之诚公司核心团队由多名博士组成，并与清华大学、北京航空航天大学、中国科学院、北京有色金属研究总院等国内知名高校、科研院所及公司保持着密切的技术合作关系。

据介绍，目前，科之诚公司已经为此项目申请了9项专利，其中，发明专利5项，并掌握了2英寸至6英寸硅基金刚石薄膜制备工艺、2英寸至6英寸取向压电薄膜制备工艺和金刚石基射频滤波器芯片的设计、半导体工艺、封装、检测技术，并已经完成全工艺流片验证，标志着核心技术攻关已经完成。目前，该公司正在进行生产线设计，预计一年后生产出产品。

颠覆性技术是“可改变游戏规则”的前沿技术，具有另辟蹊径改变技术轨道的演化曲线和颠覆现状的变革性效果。